一． 设备简介

半导体超纯水设备是应用于半导体生产零件清洗的超纯水设备，需要符合特定的用水水质标准,半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、中国电子工业电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。荣大环保在满足用户用水标准的基础上，在设备系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

二． 设计标准及依据

1.根据用户提供的详细水质报告“量身定制”。

2.水处理设备技术条件《JB/T 2932-1999》

3.反渗透水处理设备标准《CJ/T119-2000》

4.低压开关设备和控制设备成套装置《IEC439-1》

5.实验室超纯水技术指标标准《GB6682-2008》

6.电子级超纯水规格《GB/T11446.1-1997》